芯源微公司是专门干半导体生产设备的研发、生产和销售的国家高新技术企业。2019年在上交所科创板上市，成为“辽宁省科创板第一股”。2021年，上海芯源微企业发展有限公司成立，次年开始在上海临港新片区建设“芯源微临港研发及产业化”项目，园区占地45亩、规划总建筑面积约5.4万平方米，建成后将具备较强的国际领先水平半导体设备研发能力，加速高端半导体设备的国产替代进程。

  芯源微临港研发及产业化项目已于2024年3月正式竣工投产，Arcadis凯谛思为本项目提供了从项目策划、招采至验收的全过程项目管理服务。

  “芯源微临港研发及产业化项目”项目建筑主体包含研发楼、综合服务中心、生产厂房、配建库房、门卫以及四个连廊等。项目按照绿建二星标准设计了水弹性城市、混凝土预先制作的构件、雨水回用、太阳能热水系统等可持续设施，在引领科技革命的同时，积极实践可持续发展。

  半导体设备生产厂房在工业建筑中属洁净建筑，车间洁净度是半导体设备生产的全部过程中最关键的环节之一。它需要高水平的空气净化技术，并保证操作人员的安全和健康。为此，车间设计需要全面考虑车间的布局、设备选型、通风系统、管道系统和安全措施等方面。本项目的生产厂房 ，按不同的功能分区，分为百级间、千级间及万级间。二层以百级洁净间为主，采用华夫筒及高架地板结构，FFU进行上送下回的通风方式。三层主要以千级洁净间为主。施工全套工艺流程中要重点关注空气净化系统、纯废水系统、洁净装修、照明设计和洁净管控等内容。

  虽然BIM早已不是什么新事物，但是很多使用BIM的项目其实并没有在施工前给出解决方案。我们通过定期召开BIM专题会，提前进行空间管理协调，识别出了多个建筑结构不合理的地方，例如连廊的高度不够，比较压抑，于是立刻调整结构高度，达到美观效果。另外研发楼走廊吊顶内的空间存在限制，通过BIM模型进行了合理布局，解决了吊顶标高问题，规避了返工和潜在的成本增加。

  由于本项目地处沿海地区，因此我们担心传统工艺墙板日后会因气候问题发生腐蚀。于是专门去考察了临港当地的企业，将他们一般会用的耐腐蚀墙板作对比选择。同时，考虑到板面平整度需求，我们还与业主一起到长春、山东、江浙去考察工厂及其工艺，最终选到了适合的板幅及系统形式，最终保证了板面的成活效果。

  除了墙板，对于项目中所有的重点材料，包括地面石材等材料我们都会到厂家直选，一定是以高品质为第一原则，甚至园林绿化的树木也是到浙江等地逐颗挑选。以达业主和我们对项目的高品质预期。

  在每一个项目的建设过程中都有会遇到各种难题。优秀的项目管理顾问，就像多啦A梦，永远都能找到应对的办法。本项目在一开始就遇到了疫情封控，尤其在编写招标文件的关键时期，为了确认和保证招标文件的准确性及合理性，小组成员积极适应远程合作，为疫情解封后的顺利招标打下了坚实的基础。在项目施工期加，由于用地红线和隔壁一家日企划在一起，导致我们的基坑支护必须要占用对方区域才能施工，于是我们做了非常多的努力去沟通，方案改了一轮又一轮，对方总部终于同意拆除部分围墙，从而保障了我们的施工进度。

  经过各方的不懈努力，芯源微临港研发及产业化项目入选了上海2023年年度临港新片区重点工程实事立功竞赛先进表彰名单-优秀团队奖。Arcadis凯谛思被业主授予优秀团队奖，我们的多位成员都获得了优秀项目经理、个人项目贡献奖等荣誉证书。

  半导体作为科技产业的“能源”，是“芯时代”的兵家必争之地。沈阳芯源微电子设备股份有限公司主要营业产品包括光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备，大范围的应用于前道晶圆制造、后道先进封装、化合物半导体等领域。沈阳芯源微电子设备股份有限公司副总裁、上海芯源微企业发展有限公司董事长崔晓微表示，芯源微临港厂区建成后，将凝聚芯源微最高技术水平的人才资源，研发团队将在此打造世界一流水平的半导体高端装备，为中国芯片整体竞争力的提升做出贡献。

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